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工业质检| 鲲云科技 x 国内微电子集团

客户简介

该国内微电子集团主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,是国内最大的光刻机生产商之一。


业务挑战

缺陷数据量不足
缺陷数据量不足
某些缺陷样本数量较少且短期内不易收集,且业内缺乏有效的公开数据集。
问题复杂度高
问题复杂度高
晶圆缺陷种类多样性高,同种缺陷成像受工序、制程、批次、AOI设备打光条件等多种因素的影响。
计算实时性要求高
计算实时性要求高
AOI设备成像分辨率较高,图像计算复杂度与图像分辨率正相关。

应用方案

针对复杂的晶圆表面瑕疵检测问题,鲲云提供以深度学习算法为主、传统计算机视觉算法为辅的混合型方案,融合目标检测、分类、回归、识别算法,并结合自研加速卡低延时、高性能、高算力性价比的优势,打造了一体化的AI机器视觉晶圆检测方案。


落地成果

AI intelligent video analysis system is constructed to reduce the risk of accidents caused by human factors.
对晶圆过显、玷污、探针、残留和擦伤等缺陷进行识别,算法精度达到99%以上。
有效加强现场安全监管管理,提高生产效率,降本提效。
准确高效地实现了全线检测和分类,有效缩短产品研发周期,为企业降低50%的生产成本。

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